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钼铌靶材
钼铌靶材是一种用于物理研究和半导体制造等领域的重要材料。 以下是钼铌靶材的基本介绍:
钼(Mo):钼是一种过渡金属元素,具有优异的高温性能和化学稳定性。 在钼铌靶材中,钼通常是主要的组成元素之一。
铌(Nb):铌是一种过渡金属元素,具有良好的耐腐蚀性和高温强度。 在钼铌靶材中,铌是另一个重要的组成元素。
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产品介绍
钼铌靶材是一种用于物理研究和半导体制造等领域的重要材料。 以下是钼铌靶材的基本介绍:
钼(Mo):钼是一种过渡金属元素,具有优异的高温性能和化学稳定性。 在钼铌靶材中,钼通常是主要的组成元素之一。
铌(Nb):铌是一种过渡金属元素,具有良好的耐腐蚀性和高温强度。 在钼铌靶材中,铌是另一个重要的组成元素。
物理性能
高熔点:钼和铌都具有较高的熔点,分别约为2623°C和2477°C,因此钼铌靶材具有出色的耐高温性能。
高密度:钼和铌都具有较高的密度,分别约为10.2克/立方厘米和8.57克/立方厘米,因此钼铌靶材具有较高的质量吸收能力。
应用领域
物理研究:钼铌靶材常用于物理研究领域,如核物理实验、粒子加速器、等离子体物理等,用于产生高能量的离子束或电子束。
半导体制造:在半导体制造工艺中,钼铌靶材常用于物理气相沉积(PVD)或磁控溅射(sputtering)等过程中,用于沉积或镀覆薄膜,制备电子器件、光学器件或涂层材料。
制备方法
粉末冶金法:钼和铌粉末按一定比例混合后,经过压制、烧结等工艺制备成块状或片状的钼铌靶材。
熔炼法:钼和铌可以通过真空熔炼或等离子弧熔炼等方法制备成块状或片状的钼铌靶材。
特殊合金
有时,为了改善靶材的特性,钼铌靶材可能会添加其他元素,如铬(Cr)、钛(Ti)等,以调节材料的性能和应用范围。
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