蒸镀型钨舟

钨舟可作为电阻蒸发源。

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  • 工作方法

    它的工作方法是先将钨舟安装在两个电极中间,在钨舟中央加上材料,再慢慢的给电极进行通电,电流通过钨舟后,钨舟通电发热,这些低电压,大电流会使高熔点的钨舟产生热量,再热传导给镀膜材料,当钨舟的热量高于镀膜材料熔点的时候,材料就升华或者蒸发了。

    蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华,使之在工件或基片表面析出的过程。


关键词:

蒸镀型钨舟


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